ООО «НТ-МДТ Спектрум Инструментс» (Россия, 124460, г. Москва, г. Зеленоград, проезд 4922, 4, стр. 3)
кандидат физико-математических наук, ведущий научный сотрудник ООО «НТ-МДТ Спектрум Инструментс» (Россия, 124460, г. Москва, г. Зеленоград, проезд 4922, 4, стр. 3)
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1; АО «Ангстрем», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 2, стр. 3
кандидат технических наук, доцент Института интегральной электроники Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1); начальник лаборатории осаждения АО «Ангстрем» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 2, стр. 3)
Dr., руководитель группы, физический факультет, Институт Вальтера Шоттки Мюнхенского технического университета (Am Coulombwall 4, 85748 Гархинг, Германия)