Институт общей физики им. А. М. Прохорова Российской академии наук (Россия, 119991, г. Москва, ул. Вавилова, 38)
кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник Института общей физики им. А. М. Прохорова Российской академии наук (Россия, 119991, г. Москва, ул. Вавилова, 38)
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова (Россия, 119991, ГСП-1, г. Москва, Ленинские горы, 1, стр. 2)
кандидат физико-математических наук, доцент физического факультета Московского государственного университета имени М. В. Ломоносова (Россия, 119991, ГСП-1, г. Москва, Ленинские горы, 1, стр. 2)
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
кандидат технических наук, директор Научно-технологического центра фотошаблонов Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
аспирант НИЛ «Сверхпроводниковая микроэлектроника» Института физики и прикладной математики Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)