Персоналии
Ивченко Владимир Николаевич
ЗАО «Нанотехнология-МДТ» (г. Москва)
начальник лаборатории разработки САПР НПК «Технологический центр» (г. Москва). Область научных интересов: средства проектирования интегральных микросхем.
кандидат технических наук, заведующий лабораторией Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (г. Черноголовка). Область научных интересов: плазмоника, микроэлектроника, наноэлектроника, физика полупроводников, плазма.
младший научный сотрудник Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (г. Черноголовка). Область научных интересов: плазмоника, микроэлектроника, наноэлектроника.
младший научный сотрудник НПК «Технологический центр» (г. Москва). Область научных интересов: вакуумные системы, устройства синтеза углеродных структур методами CVD и PECVD, исследование эмиссионных свойств различных материалов.