Персоналии
Статьи автора
Представлен опыт применения многолучевого лазерного генератора изображения и электронно-лучевого генератора изображения с изменяемой геометрией луча для переноса изображения топологического рисунка интегральной схемы на фотошаблонах с использованием технологии, обеспечивающей геометрическую форму топологического элемента, максимально приближенную проектным данным. Адекватность разработанной технологии изготовления прецизионных фотошаблонов подтверждена результатами контроля при изготовлении смешанных комплектов.
- Просмотров: 1208 | Комментариев : 0