кандидат технических наук, доцент, научный сотрудник ФГУП «НИИ Физических проблем им. Ф.В.Лукина» (г. Москва). Область научных интересов: материалы и процессы формирования наноструктур.
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Россия, 115487, г. Москва, ул. Нагатинская, 16А, стр. 11)
кандидат технических наук, старший научный сотрудник отдела микро- и наноэлектроники и биосенсорики Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Россия, 115487, г. Москва, ул. Нагатинская, 16А, стр. 11)
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, г. Москва, Россия
младший научный сотрудник отдела структурного анализа и метрологии Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Россия, 119991, г. Москва, Ленинский пр-т, 32А)