Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
аспирант НИЛ «Сверхпроводниковая микроэлектроника» Института физики и прикладной математики Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
кандидат технических наук, старший научный сотрудник НИЛ «Сверхпроводниковая микроэлектроника» Института физики и прикладной математики Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Тананыкин Александр Александрович
Московский государственный институт электронной техники (технический университет)
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия; АО «Научно-производственное предприятие «Электронное специальное технологическое оборудование», г. Москва, Россия
аспирант Института нано- и микросистемной техники Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1); инженер-конструктор АО «Научно-производственное предприятие «Электронное специальное технологическое оборудование» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, Георгиевский пр-т, 5, стр. 1)