Персоналии
начальник участка литографии НПК «Технологический центр» (г. Москва). Область научных интересов: технологии фотолитографии, жидкостные химические процессы травления.
профессор 4-го Физического института Геттингенского университета (Германия). Область научных интересов: просвечивающая электронная микроскопия, дефекты в полупроводниковых материалах, структура твердых тел.
главный технолог, заместитель директора по базовым технологиям Института сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники РАН. Область научных интересов: молекулярно-лучевая эпитаксия, физика и технология транзисторов гигагерцового и терагерцового диапазона частот.
младший научный сотрудник лаборатории электронной микроскопии МИЭТ. Область научных интересов: электронно-микроскопические методы исследования структуры и состава материалов.
доктор технических наук, доцент, декан факультета микроприборов и технической кибернетики, заведующий кафедрой радиоэлектроники МИЭТ. Область научных интересов: высокочастотная радиоэлектроника и распространение радиоволн, проектирование устройств СВЧ- и миллиметрового диапазонов, компьютерные методы моделирования радиосистем.