Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1); НПК «Технологический центр» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1, стр. 7)
студент Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1); техник участка плазмохимических процессов опытного производства НПК «Технологический центр» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1, стр. 7)
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (Беларусь, 220013, г. Минск, ул. Петруся Бровки, 6)
кандидат технических наук, заведующий лабораторией материалов и структур наноэлектроники Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники (Беларусь, 220013, г. Минск, ул. Петруся Бровки, 6)
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (Беларусь, 220013, г. Минск, ул. Петруся Бровки, 6)
кандидат технических наук, ведущий научный сотрудник лаборатории материалов и структур наноэлектроники Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники (Беларусь, 220013, г. Минск, ул. Петруся Бровки, 6)
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (Беларусь, 220013, г. Минск, ул. Петруся Бровки, 6)
аспирант кафедры микро- и наноэлектроники, младший научный сотрудник лаборатории материалов и структур наноэлектроники Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники (Беларусь, 220013, г. Минск, ул. Петруся Бровки, 6)
Институт автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения Российской академии наук (Россия, 690041, г. Владивосток, ул. Радио, 5)
кандидат физико-математических наук, старший инженер лаборатории оптики и электрофизики Института автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения Российской академии наук (Россия, 690041, г. Владивосток, ул. Радио, 5)