Персоналии
Еганова Елена Михайловна
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Россия, 115487, г. Москва, ул. Нагатинская, 16А, стр. 11)
Волкова Лидия Сергеевна
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Россия, 119991, г. Москва, Ленинский пр-т, 32А
Дудин Александр Александрович
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Россия, 199334, г. Москва, Ленинский пр-т, 32А
доктор физико-математических наук, главный научный сотрудник Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Россия, 199334, г. Москва, Ленинский пр-т, 32А), старший научный сотрудник научно-исследовательской лаборатории перспективных процессов НПК «Технологический центр» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1, стр. 7)