кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник отдела разработки и исследования микро- и наносистем Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Россия, 119334, г. Москва, Ленинский пр-т, 32А)
кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник отдела разработки и исследования микро- и наносистем Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Россия, 119334, г. Москва, Ленинский пр-т, 32А)