Персоналии
ведущий научный сотрудник кафедры квантовой физики и наноэлектроники МИЭТ. Область научных интересов: технология формирования устройств микро- и наноэлектроники.
доктор технических наук, ведущий научный сотрудник НПК «Технологический центр» (г. Москва). Область научных интересов: физика и технология полупроводниковых приборов и ИС, СВЧ-структуры, методы самосовмещения, самоформирования и точной локализации элементов, псевдолитографические маски, принципы целенаправленного формо- и структурообразования.
аспирант кафедры высшей математики МИЭТ. Область научных интересов: численные методы, математическое моделирование роста кристаллов, программирование.
научный сотрудник лаборатории молекулярно-пучковой эпитаксии Физического института им. П.Н. Лебедева РАН (г. Москва). Область научных интересов: технология и физические свойства полупроводниковых и металлических гетероструктур, молекулярно-пучковая эпитаксия, анализ состава поверхности твердого тела.
доктор физико-математических наук, заведующий лабораторией молекулярно-пучковой эпитаксии Физического института им. П.Н. Лебедева РАН (г. Москва). Область научных интересов: технология и физические свойства полупроводниковых и металлических гетероструктур, молекулярно-пучковая эпитаксия, оптическая спектроскопия поверхности.