Персоналии
Кандидат физико-математических наук, научный сотрудник лаборатории технологии микро- и наносистемной техники ЯФ ФТИАН РАН. Область научных интересов: плазменные процессы травления технологии микроэлектроники, микро- и наносистемной техники.
Электроник лаборатории технологии микро- и наносистемной техники ЯФ ФТИАН РАН. Область научных интересов: электронно-лучевая литография,электроника,проектирование и разработка электронных схем.
Старший научный сотрудник лаборатории технологии микро- и наносистемной техники ЯФ ФТИАН РАН. Область научных интересов: плазменные процессы травления технологии микроэлектроники, микро- и наносистемной техники, разработка технологии изготовления устройств МЭМС.
Кандидат физико-математических наук, научный сотрудник лаборатории технологии микро- и наносистемной техники Ярославского Филиала Физико-технологического института РАН (ЯФ ФТИАН РАН). Область научных интересов: проектирование, разработка технологии изготовления устройств МЭМС и НЭМС.
Кандидат физико-математических наук, доцент, ведущий научный сотрудник ГНПО «Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению». Область научных интересов: технология и физика тонких полупроводниковых пленок.