Влияние материала зонда на локальное анодное окисление подложек

Раздел находится в стадии актуализации

Показана зависимость катодных скачков потенциалов от материала зондов. Предсказана возможность свечения межэлектродного зазора при локальном анодном окислении и целесообразность эффективного лазерного стимулирования анодного окисления в некоторых случаях.
Кондрашов Владислав Андреевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Неволин Владимир Кириллович
Московский государственный институт электронной техники (технический университет)

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru