Предложена аналитическая модель и проведено численное моделирование в системе GEANT4 процессов энерговыделения при воздействии нейтронов в микрообъемах активных элементов СБИС с учетом влияния окружающих материалов. Развитая модель оценки сечений локальных радиационных эффектов показывает удовлетворительное соответствие с результатами существующих подходов.