Проведены измерения электрической проводимости слоев TiO, легированного в высоких концентрациях ванадием, как функции от температуры в интервале 77-300 К. Показано, что для тонких эпитаксиальных слоев в случае легирования ванадием наблюдается 3D-проводимость с переменной длиной прыжка по закону Мотта. Проведен расчет параметров проводимости: средней энергии и длины прыжка, плотности состояний вблизи уровня Ферми.