Исследованы спектры экситонной катодолюминесценции монокристаллов CdS(O) по глубине (0,3 - 125 мкм). Выяснено, что твердый раствор CdS(O) устойчив в объеме, где решетка кристалла обеспечивает компенсацию деформаций изоэлектронной примеси O. Вблизи поверхности