Проведен анализ системы Федерального классификационного каталога отходов. Выполнен расчет класса опасности образующихся отходов, определен их компонентный состав и на основе проведенных исследований результатов сделаны предложения по внедрению дополнительного информационного блока, содержащего данные о конечном этапе цикла производства изделий нано- и микросистемной техники.