Представлены результаты разработки группы тензорезистивных преобразователей давления, изготовленных по технологии объемной микрообработки кремния. Рассмотрены одноканальные преобразователи абсолютного и избыточного давления на основе сложнопрофилированных мембран со встроенной защитой от перегрузки. Показаны их преимущества по сравнению с преобразователями давления, созданными на основе кремниевых плоских мембран и мембран с жестким центром. Описан многоканальный сканер давления для измерения давления на поверхности моделей летательных аппаратов при проведении испытаний в аэродинамической трубе. Приведены конструктивно-технологические принципы создания многоканальных модулей для измерения газодинамических потоков. Представлены матрицы чувствительных элементов давления и модули на их основе для тактильных датчиков, а также конструкция кремниевой матрицы чувствительных элементов давления и модулей на их основе, предназначенных для использования в составе установки тактильной диагностики внутренних органов при проведении операций малоинвазивной хирургии.
1. Тензорезистивные преобразователи давления на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран / Н.С. Землянников, Н.Л. Данилова, В.В. Панков и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2013. – № 4. – С. 32–35.
2. Гусев Д.В., Данилова Н.Л., Землянников Н.С., Суханов В.С. Многоканальные тензорезистивные преобразователи давления // Нано- и микросистемная техника. – 2014. – № 6. – С. 25–27.
3. Preusche C., Ortmaier T., Hirzinger G. Teleoperation concepts in minimal invasive surgery // Control Eng. Practice. – 2002. – Vol. 10. – P. 1245–1250.
4. Разработка и создание опытных образцов искусственных тактильных механорецепторов для эндоскопии / В.В. Амеличев, В.М. Буданов, Д.В. Гусев и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2009. – № 2. – С. 30.