№ 4

Содержание

Авторы: Усанов Д. А., Скрипаль А. В., Клецов, Абрамов А. В., Ильин
5 - 12
Авторы: Коркишко Ю. Н., Федоров В. А., Кострицкий С. М., Апраксин, Алкаев, Каккавале
20 - 26

Технология микроэлектроники

Авторы: Гаврилов, Кравченко
37 - 43
Авторы: Будко, Фомин, Ватага
71 - 78

Конференции. Выставки

Авторы: Вернер В. Д., Басаев А. С., Тарасов
98 - 100