Локальное электрохимическое осаждение пермаллоя на кремниевые пластины с магниторезистивными наноструктурами

Раздел находится в стадии актуализации

Представлены результаты исследований параметров пермаллоевых пленок, полученных методом электрохимического осаждения в локальные области, ограниченные фоторезистивной маской на металлизированной поверхности кремниевой пластины. Получены экспериментальные зависимости магнитных параметров осажденного пермаллоя от времени выдержки электролита. Показана возможность применения осажденных пленок в качестве экранов магнитного поля цифровых изоляторов с гальванической развязкой на основе магниторезистивных наноструктур.
Шаманаев Сергей Владимирович
ООО «НПП «Технология» (г. Москва)
Тихонов Роберт Дмитриевич
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Черемисинов Андрей Андреевич
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Генералов Сергей Сергеевич
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Горелов Дмитрий Викторович
НПК «Технологический центр» (г. Москва)
Поломошнов Сергей Александрович
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия; Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Казаков Юрий Владимирович
НПК «Технологический центр» (г. Москва)
Амеличев Владимир Викторович
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru