№ 3

Содержание

Авторы: Звездин А. К., Плис, Попов А. И., Попков А. Ф.
15 - 19

Технология микроэлектроники

Авторы: Харченко В. Н., Полуэктов Н. П., Царьгородцев Ю. П., Усатов, Камышов И. А.
28 - 35

Интегральные радиоэлектронные устройства

Авторы: Иванников
71 - 74
Авторы: Векшин, Хотнянская, Никитин, Яковенко
91 - 92

ИННОВАЦИОННАЯ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬ ВУЗОВ

Авторы: Рыгалин Д. Б., Леонтьев
96 - 98