Известия высших учебных заведений. Электроника home

Системы автоматизированного управления технологическим оборудованием в электронном машиностроении

Раздел находится в стадии актуализации

В настоящее время технические и архитектурные решения в области разработки автоматизированных систем управления специальным технологическим оборудованием на отечественной элементной базе не унифицированы. Поиск и применение общих архитектурно-технических решений позволит сократить время разработки технологиче-ского оборудования, повысить его надежность и снизить стоимость обслуживания. В ра-боте рассмотрены задачи, возникающие при эксплуатации автоматизированных систем управления технологическим оборудованием на производстве, включая применение про-граммируемых логических контроллеров и специализированных вычислительных средств. Приведены результаты анализа современных аппаратных и программных средств для проектирования систем управления специальным технологическим оборудованием. Предложены новые технические и архитектурные решения и даны рекомендации по их применению в электронном машиностроении. На основе проведенного анализа представлена унифицированная структура автоматизированной системы управления на базе технологий распределенных систем управления, которая может быть использована при проектировании или модернизации специального технологического оборудования. Показано применение данной структуры на примере разработки системы автоматизированного управления установкой электронно-лучевой литографии. Полученные результаты могут быть использованы при проектировании отечественного специального технологического оборудования.

Ключевые слова: автоматизированные системы управления, программируемый логический контроллер, распределенные системы управления, электронная литография
Опубликовано в разделе:
Библиографическая ссылка: Переверзев А. Л., Петров В. Ф., Петров О. В., Симонов С. Б., Терентьев А. И. Системы автоматизированного управления технологическим оборудованием в электронном машиностроении. Изв. вузов. Электроника. 2025;30(5):618–627. https://doi.org/10.24151/1561-5405-2025-30-5-618-627. EDN: VHVVHO.

Переверзев Алексей Леонидович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)

Петров Владимир Федорович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)

Петров Олег Владимирович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)

Терентьев Алексей Игоревич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)

1. Без своего электронного машиностроения не будет суверенной микроэлектроники. Российский форум «Микроэлектроника». 2015–2024. Available at: https://microelectronica.pro/news/forum_plenarnoe_zasedanie_4_20231012 (accessed: 25.06.2025).

Without own electronic engineering there will be no independent microelectronics. Rossiyskiy forum “Mikroelektronika”. 2015–2024. (In Russ.). Available at: https://microelectronica.pro/news/forum_plenarnoe_zasedanie_4_20231012 (accessed: 25.06.2025).

2. Макеев А. С. Анализ АСУ ТП дожимной насосной станции в рамках процесса управления рисками ИБ. In: Технические науки: теория и практика: материалы III Междунар. науч. конф. (г. Чита, 20–23 апреля 2016 г.). Чита: Молодой ученый; 2016, с. 9–15. EDN: VYIAMJ.

Makeev A. S. Analysis of APCS of booster pump station as part of information security risk management. In: Tekhnicheskie nauki: teoriya i praktika: proc. of 3rd International sci. conf. (Chita, Apr. 20–23, 216). Chita: Molodoy uchenyy Publ.; 2016, pp. 9–15. (In Russ.).

3. Automation Mall: online platform. Available at: https://www.otomasyonavm.com (accessed: 17.03.2025).

4. Yokogawa Electric Corporation. Available at: https://www.yokogawa.com/ (accessed: 25.06.2025).

5. B&R Industrial Automation. Available at: https://www.br-automation.com (accessed: 17.03.2025).

6. SIMATIC PCS 7 – the distributed control system with proven performance. Siemens Global. Available at: https://www.siemens.com/global/en/products/automation/process-control/simatic-pcs-7.html (accessed: 25.06.2025).

7. Открытая АСУ ТП: межотраслевая рабочая группа. Available at: https://openapc.ru/ (accessed: 25.06.2025).

Open Automated Process Control System: interindustry workgroup. (In Russ.). Available at: https://openapc.ru/ (accessed: 25.06.2025).

8. Ассоциация предприятий «Электронное машиностроение». Available at: https://elmashrussia.ru/ (accessed: 25.06.2025).

“Electronic Engineering” Industry Association. (In Russ.). Available at: https://elmashrussia.ru/ (accessed: 25.06.2025).

9. Modicon: popular PLCs since 1968. Schneider Electric India. Available at: https://www.se.com/in/en/about-us/events/modicon.jsp (accessed: 25.06.2025).

10. ОВЕН: оборудование для автоматизации. Available at: https://owen.ru (accessed: 25.06.2025).

OWEN: automation equipment. (In Russ.). Available at: https://owen.ru (accessed: 25.06.2025).

11. НИЦ «Курчатовский институт» – НИИСИ. Available at: https://www.niisi.ru/ (accessed: 25.06.2025).

NRC “Kurchatov Institute” – SRISA. (In Russ.). Available at: https://www.niisi.ru/ (accessed: 25.06.2025).

12. ИНЭУМ им. И. С. Брука. Available at: http://www.ineum.ru/ (accessed: 25.06.2025).

INEUM n. a. I. S. Bruk. (In Russ.). Available at: http://www.ineum.ru/ (accessed: 25.06.2025).

13. Beremiz Project’s Homepage. Available at: https://beremiz.org/ (accessed: 25.06.2025).

14. Hartner F., Fischer M. Software-defined automation: Part 1 – Living on the (industrial) edge. Siemens Blog. 17.09.2024. Available at: https://blog.siemens.com/2024/09/software-defined-automation-part-1-living-on-the-industrial-edge/ (accessed: 25.06.2025).

15. Решение для виртуальной безопасности от CODESYS получило сертификацию. Современная электроника и технологии автоматизации. 30.01.2025. Available at: https://www.cta.ru/news/cta/181039.html (accessed: 25.06.2025).

Virtual safety solution from CODESYS has been certified. Automation.com. 29.01.2025. Available at: https://www.automation.com/en-us/articles/january-2025/codesys-virtual-safety-solution-certified (accessed: 25.06.2025).

16. Хамфри Д. Виртуальный ПЛК – следующий шаг в цифровой трансформации архитектур автоматизации. МЗТА. Available at: https://www.mzta.ru/o-kompanii/stati/virtualnyj-plk-sleduyushchij-shag-v-tsifrovoj-transformatsii-ar... (accessed: 25.06.2025).

Humphrey D. Virtual PLC: The next step in digital transformation of automation architectures. LinkedIn. 02.05.2024. Available at: https://www.linkedin.com/pulse/virtual-plc-next-step-digital-transformation-david-humphrey-ofnif/ (accessed: 25.06.2025).

17. SEMI: Fostering global collaboration in the semiconductor industry. Available at: https://www.semi.org/en (accessed: 25.06.2025).

Сведения о публикации

УДК: 681.5
Тип публикации: Научная статья
Язык оригинала: Русский
DOI: 10.24151/1561-5405-2025-30-5-618-627
Идентификатор статьи в РИНЦ: VHVVHO
Полнотекстовая версия: Перейти

JATS XML