Предиктивные модели производственных процессов микроэлектроники с учетом стохастических факторов

Раздел находится в стадии актуализации

Прогнозирование поведения производственных процессов микроэлектроники с высокой степенью неопределенности и вариативности условий требует применения гибких и адаптивных подходов. Исследование предиктивных моделей, которые учитывают стохастические факторы, влияющие на эффективность и качество производственных процессов микроэлектроники, – актуальная задача. В работе рассмотрены вопросы повы-шения степени адекватности предиктивных моделей, способных учитывать стохастиче-ские факторы в производственных процессах микроэлектроники. Полученные на основе стохастических дифференциальных систем предиктивные модели позволяют учитывать множество параметров, их нелинейность и взаимное влияние. Для моделирования процессов фотолитографии предложено использовать линейные стохастические дифференциальные системы, для процессов травления – билинейные стохастические дифференциальные системы. Для оценки устойчивости производственного процесса разработана предиктивная модель на основе уравнений Лурье. Дан прогноз поведения динамических систем случайной структуры, примером которых являются современные ИС и системы на кристалле. Показана необходимость интеграции стохастических подходов в процессы моделирования производственных процессов микроэлектроники, что позволит значительно повысить эффективность управления производством в условиях неопределенности и качество выпускаемой продукции.
Гагарина Лариса Геннадьевна
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Шевнина Юлия Сергеевна
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Семенов Михаил Юрьевич
ООО «НМ-Тех», (Россия, 124527, г. Москва, г. Зеленоград, Солнечная аллея, 6)
Царапкин Сергей Федорович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Минаков Евгений Иванович
Тульский государственный университет, (Россия, 300012, г. Тула, пр. Ленина, 92)

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru