№ 6

Contents

Microelectronics Technology

Authors: D. G. Gromov, A. G. Klimovskii, A. I. Mochalov, A. D. Sulimin
3 - 9
Authors: V. N. Nevolin, V. Yu. Fominski, D. E. Baskakov, A. G. Gnedovets
18 - 25
Authors: V. V. Solovey, Yu. M. Litvinov, A. l. Hohlov, S. P. Yakovlev
26 - 30
Authors: V. P. Sevostyanov, S. A. Rakitin, N. G. Kuzmin
31 - 35

MICROELECTRONIC AND SEMICONDUCTOR DEVICES

Authors: A. E. Bespalov, E. l. Soborover, A. F. Shvanderov
36 - 41
Authors: V. V. Minaev, V. V. Uzdovskii, R. V. Sondaevskii, VI. V. Uzdovskii
50 - 56

circuit engineering and designing

Authors: M. N. Ushkar, V. M. Shkolnikov, N. A. Neudobnov
57 - 63
Authors: S. V. Gavrilov, A. L. Glebov, A. L. Stempkovskiy
64 - 71

Information technologies

Authors: E. M. Portnov
72 - 77

Measurement methods and technology

Authors: O. Yu. Kazakevich
84 - 89