Об итогах 2-й Международной научно-технической конференции «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике» (13–14 октября 2011 г., Зеленоград)

Об итогах 2-й Международной научно-технической конференции «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике» (13–14 октября 2011 г., Зеленоград)

С 13 по 14 октября 2011 г. в Национальном исследовательском университете «МИЭТ» прошла 2-я Международная научно-техническая конференция «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике».
В названии конференции отражена основная тенденция современного развития мик-ро- и наносистемной техники (МНСТ). Возникнув как некоторое дополнение к технологии микроэлектроники, с появлением микроэлектромеханических систем (МЭМС) это направление новых технологий перестает быть нишевым, а становится самостоятельной частью современной электроники. Более того, некоторые технологии, разработанные для МЭМС, стали неотъемлемой частью современной технологии микроэлектроники. К числу таких примеров можно отнести высокоаспектное направление (Бош-процесс), сборку на пластине и гетерогенные системы, включающие сенсоры, логические схемы и схемы памяти. Практически первые примеры систем на кристалле и 3D-системы впервые появились в ходе развития производства МЭМС. Широкое использование кремния–на–изоляторе (КНИ) и тонких пластин так же развивалось в рамках технологии МЭМС. Аналогичные процессы можно наблюдать и при переходе от микроэлектроники к наноэлектронике. Нанотехнологии привнесли, прежде всего, огромное расширение материалов, которые могут быть использованы при производстве технических изделий: наночастицы, нанопроволоки, нанотрубки, атомно-размерные слои, модифицированные поверхности с большим отношением поверхности к объему. Такие объекты, как углеродные нанотрубки и графен вызвали большой интерес у разработчиков различных изделий, в том числе изделий электронной техники. Возникло много предложений по их использованию в грядущей наноэлектронике. Однако первые реальные изделия в виде сенсоров (датчиков) появились именно в области микро- и наноэлектромеханических систем (МНЭМС). Кроме того, именно МНЭМС являются реальным мостиком между наномиром и привычным для человека окружением. С развитием вычислительных систем стала возможной обработка практически любых объемов информации и возникла другая проблема получения информации в необходимом объеме. Именно эту проблему решают сенсоры (датчики) на основе МНЭМС. Их объединение с беспроводными системами связи позволило создать гибкие и мобильные системы мониторинга как состояния окружающей человека среды, так и само-го человека. Это прежде всего касается контроля состояния здоровья пациента в клинике, но также результатов тренировки спортсмена или просто человека, занимающего спортом. Следует отметить, что и тут технология МНЭМС внесла дополнительный вклад в форме создания информационных сетей на гибкой подложке (например, тканях). Первоначальное использование микрофлюидных печатающих головок для принтеров было первым заметным успехом на рынке МЭМС. Теперь метод печати структуры межсоединений и даже активных элементов на базе различных «чернил» из наночастиц стал одним из развивающихся направлений современной электроники.
Долгое время актюаторное направление МЭМС в форме головок печатающих уст-ройств и головок считывания главенствовали на рынке МЭМС. В последнее время лиди-рующие позиции стало занимать сенсорное направление МЭМС. Уже достаточно давно развивается направление МЭМС как для автомобильных систем управления режимами работ агрегатов, так и для обеспечения работы систем безопасности. Мощный толчок раз-вития МЭМС дало развитие бытовых мобильных устройств (мобильные телефоны, фото-камеры и т.д.). Помимо вклада в чисто коммутационные функции (микрофон, телефон, РЧ-каналы) они были использованы для расширения функций обеспечения навигации. Здесь на первом плане инерционные приборы: датчики и акселерометры. Но при этом су-щественно расширено применение самых «старых» МЭМС-устройства – датчиков давле-ния, которые вышли на первое место по доле продаж МЭМС на рынке.
Развитие рынка МЭМС, как и любого другого рынка, определяется спросом потреби-теля. Наиболее значителен в этом смысле рынок медицинских услуг. В этом направлении МЭМС, начиная с лабораторий на кристалле для анализа ДНК-структуры и контроля при-сутствия болезнетворных агентов в организме, внесли существенный вклад в доступность анализов, включая возможность индивидуального самоконтроля состояния организма. В определенной мере – и для обеспечения государственной безопасности антитерроризма за счет разработок высокочувствительных сенсоров, выявляющих наличие оружия, взрывчатых и химико-биологических веществ. На этом фоне значительного прогресса в развитии МЭМС- и НЭМС-технологий в мире естественно возникает вопрос о вкладе научного сообщества России в эти процессы. Конференция «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике» в определенной мере должна была ответить на этот вопрос.
На конференции было представлено 50 докладов в рамках тематических направлений, определенных оргкомитетом. Особое значение имело участие в конференции ученых, имеющих весомый международный авторитет. Большой интерес участников конференции вызвал доклад академика РАН, директора ИРЭ РАН Ю.В.Гуляева «Радиоэлектронные методы медицинской диагностики», который еще раз подчеркнул перспективы и необходимость использования МЭМС в медицинских приложениях. Общие тенденции развития электроники были обсуждены в докладе академика Национальной академии наук Белоруссии В.А. Лабунова «От микро- к наноэлектронике». Пример детального рассмотрения проблем использования объектов нанотехнологии был представлен в докладе профессора С.В. Булярского (УлГУ) «Перенос заряда в углеродных нанотрубках».
Любое промышленное производство базируется на возможности использования тех-нологического оборудования непосредственно для изготовления изделий и возможности оценить параметры полученных изделий. С этой точки зрения было интересно участие в конференции Атсуши Кира (Ulvac Inc/Research & Development Division) по теме «МЭМС/НЭМС производственные линии и фаундри-услуги компании ULVAC» и дирек-тора ЗАО «НТ-МДТ» В.А. Быкова «Возможности разработки и изготовления новейших МЭМС/НЭМС с использованием кластерного оборудования». Существенное значение имело совместное участие известных российских ученых, способствующих развитию МЭМС в России, таких П.П.Мальцев, В.А. Гридчин, Н.А. Шелепин, С.П. Тимошенков и молодых начинающих ученых на уровне аспирантов и студентов. Они представили доклады по актуальным проблемам МНЭМС. Например, «Осцилляция ширины запрещенной зоны одностенных углеродных нанотрубок в области сверхмалых диаметров» аспиранта ВГУ А.А.Ганина, «Формирование углеродных наноструктур с развитой поверхностью для конденсаторов с высокой емкостью» магистранта МИЭТ С.В.Дубкова и др.
В целом на конференции было представлено 50 докладов из 27 научных и производ-ственных организаций, представляющих различные регионы России и зарубежные стра-ны. Анализ докладов подтвердил актуальность проблематики конференции и ее прямую связь с основными направлениями научных исследований в мире по развитию МЭМС. Уровень научных исследований, проводимых в России, адекватен соответствующим на-правлениям исследований зарубежных научных центров, но практическая реализация их результатов пока остается ниже зарубежных. Существенное, по сравнению с прямым, по-вышение обеспеченности научным оборудованием уже привело к росту уровня проводи-мых исследований и привлечению к ним молодых исследователей. Последнее существен-но для обеспечения приемственности и развития данного научного направления.
В связи с актуальностью предложенной тематики было рекомендовано проводить конференцию ежегодно.

Поделиться