1561-5405

10.24151/1561-5405

Proceedings of Universities. Electronics

Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics"

Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника»

1561-5405 2587-9960

National Research University of Electronic Technology

Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"

Archives

Уменьшение влияния температурного дрейфа в сканирующих зондовых микроскопах

Быков Виктор Александрович

Быков

Виктор Александрович

Aleksandrovich

Bykov Viktor

Bykov Viktor Aleksandrovich

Кузнецов Евгений Владимирович

Кузнецов

Евгений Владимирович

Vladimirovich

Kuznetsov Evgeniy

Kuznetsov Evgeniy Vladimirovich

Пьянков Евгений Сергеевич

Пьянков

Евгений Сергеевич

Sergeevich

Pyankov Evgeniy

Pyankov Evgeniy Sergeevich

НТ-МДТ, г. Москва, Россия; Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), г. Москва, РоссияЗАО «Нанотехнология МДТ» (г. Москва)Московский государственный институт электронной техники (технический университет)

5863

http://ivuz-e.ru/issues/85-_2010/umenshenie_vliyaniya_temperaturnogo_dreyfa_v_skaniruyushchikh_zondovykh_mikroskopakh/

Some features of the thermal stabilization for the scanning probe microscopy devices have been studied. The universal microcontroller with the internal thermal stabilization has been developed. The device provides an improved accuracy of the temperature control during measurements.

Исследованы особенности термостабилизации устройств сканирующей зондовой микроскопии. Разработан универсальный термоконтроллер с внутренней термостабилизацией, обеспечивающий повышенную точность поддержания температуры в процессе измерений.

специализированный термоконтроллертермостабилизациясканирующая зондовая микроскопияповышенная точность измеренийтермодрейфтемпература