The disadvantages of the known thermal sensors have been considered. The design of the thermal displacement transducer has been proposed. The preliminary metrological performance has been presented.
Рассмотрены недостатки известных конструкций тепловых измерителей перемещений. Предложена конструкция микроэлектронного измерителя микроперемещений в составе датчика остаточного давления. Приведены предварительные метрологические характеристики прибора.