Проведен термодинамический анализ эффективного введения одиночных примесных атомов в систему поверхностных (двумерных) квантовых точек с учетом кулоновской блокады и упругих напряжений. Показано существование технологически достижимой области концентраций и температур, в которой возможно контролируемое внедрение одиночных атомов фосфора в двумерные квантовые точки германия на поверхности кремния.