Одной из проблем развития технологических процессов самых различных отраслей является контроль чистоты реактивов. Эта проблема характерна как для входного аналитического контроля реагентов высокой степени чистоты, так и для контроля процессов их регенерирования для повторного использования. В статье предложен оригинальный, апробированный в действующем микроэлектронном производстве, вариант ее решения.