Особенности формирования структур подвешенного графена над массивом микроразмерных пор

Структуры на основе подвешенного графена - перспективные элементы для задач электроники, фотоники и сенсорики вследствие возможности устранения ловушечных состояний в подложке, повышения быстродействия и чувствительности графенового слоя. Также актуально развитие методик внедрения углеродных наноструктур в кремниевую технологию создания устройств микро- и наноэлектроники. В работе представлены особенности формирования кремниевой мембраны и сквозных пор в ней, а также осаждения графена на кремниевые мембраны. Получены спектры комбинационного рассеяния света подвешенного графена, показывающие сдвиги G-пика на 4,5 см и 2D-пика на 7,5 см относительно пиков графена, находящегося на кремнии. С помощью кривых подвода и отвода зонда атомно-силового микроскопа исследован возможный прогиб графена в сквозное отверстие, показывающий расстояния, на которых расположены притягивающие и отталкивающие силы в системе зонд - подвешенный графен. Установлено, что ввиду значительного провисания графена на 1 мкм при диаметре поры 5 мкм фокусировка лазера затруднена. Это в первую очередь влияет на использование структур подвешенного графена в качестве основы для газового или жидкостного сенсора различных органических соединений, а также для транзисторов.
Царик Константин Анатольевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Никита Петрович Некрасов
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Неволин Владимир Кириллович
Московский государственный институт электронной техники (технический университет)
Бобринецкий Иван Иванович
Московский государственный институт электронной техники (технический университет)
Поделиться