Исследование стойкости МЭМС-акселерометров емкостного типа к внешним механическим воздействиям

Исследование стойкости МЭМС-акселерометров емкостного типа к внешним механическим воздействиям

Надежная эксплуатация механических датчиков угловой скорости и линейного ускорения возможна при обеспечении их устойчивого функционирования под воздействием внешних факторов. В работе на вибростенде LDS V455 исследованы механические воздействия широкополосной (синусоидальной) вибрации и ударов на экспериментальные образцы микромеханических акселерометров. Полученные амплитудно-частотные характеристики экспериментальных образцов использованы для оценки их качества, которое выражается в линейности в достаточно широком частотном диапазоне и отсутствии резонансных пиков. С помощью вибростенда заданы интенсивность и продолжительность удара. Результаты экспериментов показали, что ударная нагрузка отрабатывается неодинаково для образцов механических акселерометров, рассчитанных на разные диапазоны значений измеряемого ускорения. Выяснено, что выходной сигнал у образцов в диапазоне измерений ускорения ±1,2 g ограничен сверху, у образцов в диапазоне до ±5 g сигнал не входит в заданный профиль. Установлено, что образцы ПЛУ 5-17 хорошо отрабатывают профиль удара. Показано, что допустимая ударная нагрузка на образцы механических акселерометров должна подбираться с учетом откликов, т.е. выходных сигналов при ударном воздействии.
Аунг Тхура
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Борис Михайлович Симонов
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Андрей Сергеевич Тимошенков
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Поделиться