<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<article xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns:ali="http://www.niso.org/schemas/ali/1.0/" article-type="research-article" dtd-version="1.2" xml:lang="en">
  <front>
    <journal-meta>
      <journal-id journal-id-type="issn">1561-5405</journal-id>
	    <journal-id journal-id-type="doi">10.24151/1561-5405</journal-id>	  
      <journal-id journal-id-type="publisher-id">Proceedings of Universities. Electronics</journal-id>
      <journal-title-group>
        <journal-title xml:lang="en">Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics"</journal-title>
        <trans-title-group xml:lang="ru">
          <trans-title>Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника»</trans-title>
        </trans-title-group>        
      </journal-title-group>      
      <issn publication-format="print">1561-5405</issn>
      <issn publication-format="online">2587-9960</issn>
      <publisher>
        <publisher-name xml:lang="en">National Research University of Electronic Technology</publisher-name>
        <publisher-name xml:lang="ru">Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"</publisher-name>
      </publisher>
    </journal-meta>
    <article-meta>                                    
      
    <article-id pub-id-type="doi">10.24151/1561-5405-2018-23-6-543-556</article-id><article-id pub-id-type="udk">620.187.3</article-id><article-categories><subj-group><subject>Mатериалы электроники</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title xml:lang="en">Electron Microscopy Studies of Silver Nanoparticles Obtained by Vacuum Thermal Evaporation</article-title><trans-title-group xml:lang="ru"><trans-title>Электронно-микроскопические исследования наночастиц серебра, полученных вакуумно-термическим испарением</trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author"><string-name xml:lang="ru">Гришина Яна Сергеевна </string-name><name-alternatives><name xml:lang="ru"><surname>Гришина</surname><given-names>Яна Сергеевна </given-names></name><name xml:lang="en"><surname>Sergeevna</surname><given-names>Grishina Yana</given-names></name></name-alternatives><string-name xml:lang="en">Grishina Yana Sergeevna</string-name><xref ref-type="aff" rid="AFF-1"/></contrib><contrib contrib-type="author"><string-name xml:lang="ru">Боргардт Николай Иванович</string-name><name-alternatives><name xml:lang="ru"><surname>Боргардт</surname><given-names>Николай Иванович</given-names></name><name xml:lang="en"><surname>Borgardt</surname><given-names>Nikolay I.</given-names></name></name-alternatives><string-name xml:lang="en">Nikolay I. Borgardt</string-name><xref ref-type="aff" rid="AFF-2"/></contrib><contrib contrib-type="author"><string-name xml:lang="ru">Волков Роман Леонидович</string-name><name-alternatives><name xml:lang="ru"><surname>Волков</surname><given-names>Роман Леонидович</given-names></name><name xml:lang="en"><surname>Volkov</surname><given-names>Roman L.</given-names></name></name-alternatives><string-name xml:lang="en">Roman L. Volkov</string-name><xref ref-type="aff" rid="AFF-2"/></contrib><contrib contrib-type="author"><string-name xml:lang="ru">Громов Дмитрий Геннадьевич</string-name><name-alternatives><name xml:lang="ru"><surname>Громов</surname><given-names>Дмитрий Геннадьевич</given-names></name><name xml:lang="en"><surname>Gromov</surname><given-names>Dmitry G.</given-names></name></name-alternatives><string-name xml:lang="en">Dmitry G. Gromov</string-name><xref ref-type="aff" rid="AFF-3"/></contrib><contrib contrib-type="author"><string-name xml:lang="ru">Савицкий Андрей Иванович</string-name><name-alternatives><name xml:lang="ru"><surname>Савицкий</surname><given-names>Андрей Иванович</given-names></name><name xml:lang="en"><surname>Savitskiy</surname><given-names>Andrey I.</given-names></name></name-alternatives><string-name xml:lang="en">Andrey I. Savitskiy</string-name><xref ref-type="aff" rid="AFF-4"/></contrib><aff id="AFF-1" xml:lang="ru">Национальный исследовательский университет МИЭТ, г. Москва, Россия </aff><aff id="AFF-2" xml:lang="ru">Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия</aff><aff id="AFF-3" xml:lang="ru">Национальный исследовательский университет МИЭТ, г. Москва, Россия; Первый Московский государственный медицинский университет имени И. М. Сеченова Минздрава России, г. Москва, Россия</aff><aff id="AFF-4" xml:lang="ru">Национальный исследовательский университет МИЭТ, г. Москва, Россия; НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия</aff></contrib-group><fpage>543</fpage><lpage>556</lpage><self-uri>http://ivuz-e.ru/issues/6-_2018/elektronno_mikroskopicheskie_issledovaniya_nanochastits_serebra_poluchennykh_vakuumno_termicheskim_i/</self-uri><self-uri content-type="pdf">http://ivuz-e.ru/download/6_2018_2298.pdf</self-uri><abstract xml:lang="en"><p>Metal nanoparticles are promising objects of research, since their properties are significantly different from the bulk material. When analyzing nanoparticles, it is important to study their size, stability, structural features and spatial arrangement. The initial and annealed nanoparticles of silver, formed on a carbon substrate by vacuum-thermal evaporation and having dimensions from 2 nm up to 10 nm, have been studied by using the high resolution electron microscopy method. The classification of their form and structure has been carried out. Among the studied ones the nanoparticles in the shape of a faceted ellipsoid with a polycrystalline structure, coarse nanoparticles with a monocrystalline structure and twins, icosahedral and decahedral nanoparticles with multiple twinning, and also, small single crystalline nanoparticles with dimensions less than 3.5 nm, have been revealed. It has been found that a result of annealing the number of small nanoparticles has been about 2 times decreased and the fraction of nanoparticles with icosahedral and decahedral shapes has been approximately 1.5 times increased. It has been shown that the nanoparticles with sizes less than 5 nm are unstable after a few seconds of exposure to high-energy electrons. For small initial and annealed single crystalline nanoparticles of less than 3 nm size the mean values of the lattice constant have been found by the precise determination of the atomic column centers on their images and the calculation of the local interplanar spacing values between the atoms located in mutually orthogonal (200) and (022) planes. It has been shown that in such nanoparticles both prior and after annealing there had been no noticeable distortions of the crystal structure and their lattice constant had been close to the value, characteristic for bulk silver.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="ru"><p>Наночастицы металлов - перспективный объект исследования, так как их свойства существенно отличаются от объемного материала. При анализировании наночастиц важным является изучение их размера, стабильности, особенностей структуры, а также пространственного расположения. В работе методом высокоразрешающей электронной микроскопии изучены исходные и отожженные наночастицы серебра, сформированные на углеродной подложке вакуумно-термическим испарением и имеющие размеры от ~2 до 10 нм. Проведена классификация их формы и структуры. Среди исследованных выявлены наночастицы в виде ограненного эллипсоида с поликристаллической структурой, крупные с монокристаллической структурой и двойниками, икосаэдрические и декаэдрические с множественным двойникованием, а также маленькие монокристаллические наночастицы размером менее 3,5 нм. Установлено, что в результате отжига общее количество наночастиц становится меньше примерно в 1,3 раза, число маленьких наночастиц уменьшается приблизительно в 2 раза, а доля наночастиц с икосаэдрической и декаэдрической огранками увеличивается примерно в 1,5 раза. Показано, что наночастицы размером менее 5 нм являются нестабильными уже после нескольких секунд воздействия на них высокоэнергетическими электронами. Для маленьких монокристаллических наночастиц размером менее 3,5 нм найдены средние значения параметра кристаллической решетки на основе прецизионного определения центров атомных колонок на их изображениях и вычисления локальных расстояний между атомами, расположенными во взаимно перпендикулярных плоскостях &amp;#40;200&amp;#41; и &amp;#40;022&amp;#41;. Показано, что в таких наночастицах как до отжига, так и после него отсутствуют заметные искажения кристаллической структуры и их параметр решетки близок к значению, характерному для массивного серебра.</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>наночастицы серебра</kwd><kwd>вакуумно-термическое испарение</kwd><kwd>высокоразрешающая просвечивающая электронная микроскопия</kwd><kwd>параметр кристаллической решетки</kwd></kwd-group><funding-group/></article-meta>
  </front>
  <body/>
  <back>
    <ref-list><ref id="B1"><label>1.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Single-walled carbon nanotube growth from highly activated metal nanoparticles / D. Takagi, Y. Homma, H. Hibino et al. // Nano Lett. – 2006. – Vol. 6. – No. 12. – P. 2642 – 2645. DOI: 10.1021/nl061797g</mixed-citation></ref><ref id="B2"><label>2.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Gromov D.G., Pavlova L.M., Savitskii A.I., Trifonov A.Yu. Investigation of the early stages of condensation of Ag and Au on the amorphous carbon surface during thermal evaporation under vacuum // Surface Physics and Thin Films. – 2015. – Vol. 57. – P. 173 – 180.</mixed-citation></ref><ref id="B3"><label>3.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Asgar M., Hasan M., Huq Md., Mahmood Z.H. Metal assisted synthesis of single crystalline silicon nanowires at room temperature for photovoltaic application // J. Nanomed. Nanotechnol. – 2014. – Vol. 5. – P. 4 – 7. – URL: http://dx.doi.org/10.4172/2157-7439.1000221 (дата обращения: 13.05.18).</mixed-citation></ref><ref id="B4"><label>4.</label><mixed-citation xml:lang="ru">A plasmonic photocatalyst consisting of silver nanoparticles embedded in titanium dioxide / K. Awazu, M. Fujimaki, C. Rockstuhl et al. // Am. Chem. Soc. – 2008. – Vol. 130. – P. 1676 – 1680. DOI: 10.1021/ja076503n</mixed-citation></ref><ref id="B5"><label>5.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Cobley С., Skrabalak S., Campbell D., Xia Y. Shape-controlled synthesis of silver nanoparticles for plasmonic and sensing applications // Plasmonics. – 2009. – Vol. 4. – P. 171 – 179. DOI 10.1007/s11468-009-9088-0.</mixed-citation></ref><ref id="B6"><label>6.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Optical impedance matching using coupled plasmonic nanoparticle arrays / P. Spinelli, M. Hebbink, R. Waele et al. // Nano Lett. – 2011. – Vol. 11. – No. 4. – P. 1760 – 1765. DOI: 10.1021/nl200321u</mixed-citation></ref><ref id="B7"><label>7.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Maheshwari V., Kane J., Saraf R.F. Self-assembly of a micrometers-long one-dimensional network of cemented au nanoparticles // Adv. Mater. – 2008. – Vol. 20. – P. 284 – 287. DOI: 10.1002/adma.200700999</mixed-citation></ref><ref id="B8"><label>8.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Superparamagnetic colloids: controlled synthesis and niche applications / U. Jeong, X. Teng, Y. Wang et al. // Adv. Mater. – 2007. – Vol. 19. – P. 33 – 60. DOI: 10.1002/adma.200600674</mixed-citation></ref><ref id="B9"><label>9.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Yacaman M.J., Ascencio J.A., Liu H. B., Gardea-Torresdey J. Structure shape and stability of nanometric sized particles // J. Vac. Sci. Technol. – 2001. – Vol. 19. – P. 1091 – 1103. DOI: 10.1116/1.1387089</mixed-citation></ref><ref id="B10"><label>10.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Wang Z.L. Transmission electron microscopy of shape-controlled nanocrystals and their assemblies // J. Phys. Chem. – 2000. – Vol. 104. – P. 1153 – 1175. DOI: 10.1021/jp993593c</mixed-citation></ref><ref id="B11"><label>11.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Cleveland C.L., Landman U. The energetics and structure of nickel clusters: size dependence // J. Chem. Phys. – 1991. – Vol. 94. – P. 7376 – 7396. – URL: https://doi.org/10.1063/1.460169 (дата обращения: 13.05.2018).</mixed-citation></ref><ref id="B12"><label>12.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Structural deformation, melting point and lattice parameter studies of size selected silver clusters / I. Shyjumon, M. Gopinadhan, O. Ivanova et al. // Eur. Phys. J. – 2006. – Vol. 37. – P. 409 – 415. DOI: 10.1140/epjd/e2005-00319-x</mixed-citation></ref><ref id="B13"><label>13.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Onodera S.J. Lattice parameters of fine copper and silver particles // J. Phys. Soc. – 1992. – Vol. 61. – P. 2190 – 2193. – URL: https://doi.org/10.1143/JPSJ.61.2190 (дата обращения: 13.05.2018).</mixed-citation></ref><ref id="B14"><label>14.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Cai W., Hofmeister H., Dubiel M. Importance of lattice contraction in surface plasmon resonance shift for free and embedded silver particles // Eur. Phys. J. – 2001. – Vol. 13. – P. 245 – 253.</mixed-citation></ref><ref id="B15"><label>15.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Wassermann H.J., Vermaak J.S. On the determination of a lattice contraction in very small silver particles // Surf. Sci. – 1970. – Vol. 22. – P. 164 – 172.</mixed-citation></ref><ref id="B16"><label>16.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Expansion of interatomic distances in platinum catalyst nanoparticles / K. Du, F. Ernst, M.C. Pelsozy et al. // Acta Mater. – 2010. – Vol. 58. – P. 836 – 845. DOI:10.1016/j.actamat.2009.09.061</mixed-citation></ref><ref id="B17"><label>17.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Sneed B.T., Young A.P., Tsung C. Building up strain in colloidal metal nanoparticle catalysts // Nanoscale. – 2015. – Vol. 7. – P. 12248 – 12265. DOI: 10.1039/x0xx00000x</mixed-citation></ref><ref id="B18"><label>18.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Investigation of condensation of small portions of Ag at thermal evaporation in vacuum / D.G. Gromov, E.A. Lebedev, A.I. Savitskiy et al. // J. Phys.: Conf. Ser. – 2015. – Vol. 643. – P. 012014-1 – 012014-6. DOI:10.1088/1742-6596/643/1/012014</mixed-citation></ref><ref id="B19"><label>19.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Sample preparation handbook for transmission electron microscopy / J. Ayache, L. Beaunier, J. Boumendil et al. // New York: Springer, 2009. – 338 p.</mixed-citation></ref><ref id="B20"><label>20.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Koga K., Sugawara K. Population statistics of gold nanoparticle morphologies: direct determination by HREM observations // Surf. Sci. – 2003. – Vol. 529. – P. 23 – 25.</mixed-citation></ref><ref id="B21"><label>21.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Hofmeister H., Tan G. L., Dubiel M. Shape and internal structure of silver nanoparticles embedded in Glass // J. Mater. Res. – 2005. – Vol. 20. – P. 1551 – 1562. DOI: 10.1557/JMR.2005.0197</mixed-citation></ref><ref id="B22"><label>22.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Marks L.D. Experimental studies of small particle structures // Rep. Prog. Phys. – 1994. – Vol. 57. – P. 603 – 649.</mixed-citation></ref><ref id="B23"><label>23.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Baletto F., Ferrando R., Fortunelli A., Mottet C. Crossover among structural motifs in transition and noble-metal clusters // J. Chem. Phys. – 2002. – Vol. 116. – P. 3856 – 3863. DOI: 10.1063/1.1448484</mixed-citation></ref><ref id="B24"><label>24.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Guo H. A simple algorithm for fitting a gaussian function // IEEE Signal Process. Mag. 2011. – V. 28. – No. 5. – P. 134 – 137. DOI: 10.1109/MSP.2011.941846</mixed-citation></ref><ref id="B25"><label>25.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Analysis of low-field isotropic vortex glass containing vortex groups in YBa2Cu3O7−xthin films visualized by scanning SQUID microscopy / F.S. Wells F.S., A.V. Pan, X.R. Wang et al. // Sci. Rep. – 2015. – Vol. 5. – P. 8677-1 – 8677-5. DOI: 10.1038/srep08677</mixed-citation></ref><ref id="B26"><label>26.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Standard X-ray Diffraction Powder Patterns / M.C. Morris, H.F. McMurdie, E.H. Evans et al. // Natl. Bur. Stand. Circ. – 1976. – Vol. 13. – P. 35.</mixed-citation></ref><ref id="B27"><label>27.</label><mixed-citation xml:lang="ru">ГОСТ Р 8.736–2011. Государственная система обеспечения единства измерений. Измерения прямые многократные. Методы обработки результатов измерений. Основные положения. – М.: Стандартинформ, 2013. – 24 с.</mixed-citation></ref><ref id="B28"><label>28.</label><mixed-citation xml:lang="ru">ГОСТ Р 8.697–2010. Государственная система обеспечения единства измерений. Межплоскостные расстояния в кристаллах. Методика выполнения измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа. – М.: Стандартинформ, 2010. – 12 с.</mixed-citation></ref><ref id="B29"><label>29.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Swanson H.E., Tatge E. Standard X-ray diffraction powder patterns // Natl. Bur. Stand. Circ. – 1953. – Vol. 1. – P. 23 – 24.</mixed-citation></ref></ref-list>    
  </back>
</article>
