6 Международная научно-техническая конференция «Технологии микро- и нано-электроники в микро- и наносистемной технике» (20–22 февраля 2019 г., ИНМЭ РАН, г. Москва, Россия)
6 Международная научно-техническая конференция «Технологии микро- и нано-электроники в микро- и наносистемной технике» (20–22 февраля 2019 г., ИНМЭ РАН, г. Москва, Россия)