Expanding the possibilities of an electrostatic chuck automated control within the technological process of substrate processing is an urgent task. Despite the successes achieved in the development, production and application of electrostatic chuck in recent years, the current results have had significant limitations. The authors presented a control improvement method of the substrate processing temperature regime by determining the device characteristics: the minimum allowable voltage of the electrostatic chuck dependence on the pressure of helium under the substrate and the helium flow rate from under the substrate dependence on the electrostatic chuck voltage. The dependencies were obtained by the parameters direct measurement method with the measurement setup. The study results have allowed selecting the optimal operating voltage of the electrostatic chuck to ensure a reliable substrate grip, as well as to implement an indirect assessment of the substrate clamping quality in automatic mode.
Расширение возможностей автоматического управления электростатическим крепежным устройством в рамках технологического процесса обработки подложки – актуальная задача. Несмотря на достигнутые успехи в разработке, производстве и применении электростатического крепежного устройства полученные результаты имеют значительные ограничения. В работе представлен способ улучшения контроля температурного режима обработки подложки за счет определения таких характеристик устройства, как зависимость минимально допустимого напряжения электростатического крепежного устройства от давления гелия под подложкой и зависимость расхода гелия из-под подложки от напряжения электростатического крепежного устройства. Зависимости сняты методом прямого измерения параметров измерительными средствами установки. Полученные результаты позволяют обеспечить подбор оптимального<br /> напряжения работы электростатического крепежного устройства для надежного захвата подложки, а также реализовать косвенную оценку качества прижима подложки в автоматическом режиме.