1561-5405 10.24151/1561-5405 Proceedings of Universities. Electronics Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics" Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» 1561-5405 2587-9960 National Research University of Electronic Technology Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" 621.3.049.77.002Electrochemical Deposition Process for Permalloy Films on Magneto-Semiconductor MicrosystemsЭлектрохимический процесс осаждения пленок пермаллоя для магнитополупроводниковых микросистемАмеличев Владимир Викторович АмеличевВладимир Викторович ViktorovichAmelichev VladimirAmelichev Vladimir ViktorovichПоломошнов Сергей Александрович ПоломошновСергей Александрович AleksandrovichPolomoshnov SergeyPolomoshnov Sergey AleksandrovichНиколаева Наталия Наумовна НиколаеваНаталия Наумовна NaumovnaNikolaeva NataliyaNikolaeva Nataliya NaumovnaТихонов Роберт Дмитриевич ТихоновРоберт Дмитриевич DmitrievichTikhonov RobertTikhonov Robert DmitrievichКуприянова Мария Андреевна КуприяноваМария Андреевна AndreevnaKupriyanova MariyaKupriyanova Mariya AndreevnaНПК «Технологический центр», г. Москва, РоссияНПК «Технологический центр», г. Москва, Россия; Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, РоссияНПК «Технологический центр» (г. Москва)482484http://ivuz-e.ru/issues/5-_2016/elektrokhimicheskiy_protsess_osazhdeniya_plenok_permalloya_dlya_magnitopoluprovodnikovykh_mikrosiste/http://ivuz-e.ru/download/5_2016_1574.pdf

The results of the study on the local electrochemical deposition from chloride electrolyte have been presented and the permalloy films NiFe with magnetic properties, similar to 3-d models with the uniform thickness and with low mechanical stresses without high-temperature annealing have been obtained. The dependencies of the congruent deposition velocity on the current density have been presented. The peralloy films are designed to enhance the magnetic field in the magneto-semiconductor microsystems.

Представлены результаты исследования локального электрохимического осаждения из хлоридного электролита. Получены пленки пермаллоя NiFe с магнитными свойствами, аналогичными объемным образцам, равномерные по толщине и с малыми механическими напряжениями без высокотемпературного отжига. Приведены зависимости скорости конгруэнтного осаждения пермаллоя от плотности тока.

электролитпермаллойэлектрохимическое осаждениемагнитная проницаемость Развитие технологий магнитополупроводниковых микросистем / В.В. Амеличев, И.Е. Абанин, В.В. Аравин и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2015. – Т. 20. – № 5. – С. 505–510.Создание интегральных компонентов усиления магнитного сигнала в беспроводной МЭМС на основе магниторезистивных элементов/ В.В. Амеличев, В.В. Аравин, А.Н. Белов и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2013. – № 3. – С. 29–33.Получение концентраторов магнитного поля с помощью электрохимического осаж-дения пермаллоя / Р.Д. Тихонов, А.А. Черемисинов, С.С. Генералов и др. // Нано- и мик-росистемная техника. – 2015. – № 3. – С. 51–57.Локальное электрохимическое осаждение пермаллоя на кремниевые пластины с магниторезистивными наноструктурами / С.В. Шаманаев, Р.Д. Тихонов, А.А. Черемиси-нов и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2015. – Т. 20. – № 3. – С. 313–316.