1561-5405 10.24151/1561-5405 Proceedings of Universities. Electronics Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics" Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» 1561-5405 2587-9960 National Research University of Electronic Technology Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" 10.24151/1561-5405-2017-22-4-341-349621.1.016.7:628.8Технологические процессы и маршрутыThermodynamic Analysis of Process of Clean Rooms Air HandlingТермодинамический анализ процесса воздухоподготовки чистых помещенийРябышенков Андрей СергеевичРябышенковАндрей СергеевичRiabyshenkovAndrey S.Andrey S. RiabyshenkovНациональный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия341349http://ivuz-e.ru/issues/4-_2017/termodinamicheskiy_analiz_protsessa_vozdukhopodgotovki_chistykh_pomeshcheniy/http://ivuz-e.ru/download/4_2017_1350.pdf

For determination of the optimal thermodynamic processes in the air conditioning and filtration the exergy method has been used. The estimation of separate elements and of the whole complex the air conditioning and filtration based on the exergy efficiency calculation is the main purpose of the exergy analysis. The possibility of using the method of thermodynamic exergy analysis as the means of monitoring the energy efficiency of clean rooms air handling system has been investigated. The mathematical model of an air conditioning system with the recirculation circuit has been used. The estimates of the exergy efficiency in the selected system, air conditioning and the Exergy losses in its base elements depending on various factors have been performed. The application of the exergy analysis enables to identify the main ways to reduce the energy losses and choose the best option circuitry air conditioning and air filtration.

Исследована возможность применения эксергетического метода термодинамического анализа как средство мониторинга энергоэффективности системы воздухоподготовки чистых помещений. Повышение энергоэффективности можно достичь за счет тщательного термодинамического анализа затрат энергии при изменении состояния воздушного потока в системе кондиционирования и фильтрации воздуха. Использована математическая модель системы кондиционирования воздуха с рециркуляционным контуром. Проведены оценки эксергетической эффективности в выбранной системе кондиционирования и потерь эксергии в основных ее элементах в зависимости от различных факторов. Получена диаграмма Грассмана потоков и потерь эксергии для выбранной системы кондиционирования в теплый и холодный периоды года. Применение эксергетического анализа позволяет определить основные способы уменьшения энергетических потерь и выбрать оптимальный вариант схемного решения системы кондиционирования и фильтрации воздуха.

системы кондиционирования воздухачистые помещениярециркуляционный контурэнергоэффективностьэксергетический балансдиаграмма Грассмана ЛитератураРябышенков А.С., Захаров А.Н., Гаврилин В.А. Эксергетический анализ рецирку-ляционной системы кондиционирования и фильтрации воздуха в чистых помещениях // Актуальные проблемы повышения эффективности производств микроэлектроники: сб. науч. тр. / Под ред. В.И. Каракеяна. – М.: МИЭТ, 2016. – С. 28–33.Каракеян В.И., Дисветова Н.М. Система кондиционирования воздуха чистых по-мещений как объект термодинамического анализа // Актуальные проблемы повышения эффективности производств микроэлектроники: сб. науч. тр. / Под ред. В.И. Каракеяна. – М.: МИЭТ, 2016. – С. 3–8.Labay V., Harasym D. Innovation model for energy effective investigations of air condi-tioning systems for cleanrooms / // Econtechmod. – 2014. – Vol. 3. – No. 1. – P. 47–52.Бродянский В.М. Эксергетический метод термодинамического анализа. – М.: Энергия, 1973. – 296 с.Эксергетические расчеты технических систем: справ. пособие / В.М. Бродянский, Г.П. Верхивкер, Я.Я. Карчев и др.; под ред. А.А. Долинского, В.М. Бродянского. – Киев: Наукова думка, 1991. – 360 с.Labay V.Y., Harasym D.I. The diagram of Grassman in exergetic analysis of air condi-tioning systems for cleanrooms // Refrigeration Engineering and Technology. – 2014. – №5(151). – P. 17–22.Архаров А.М. Почему эксергетический вариант термодинамического анализа нера-ционален для исследования основных низкотемпературных систем // Холодильная техни-ка. – 2011. – №10. – C. 8–12.Архаров А.М., Шишов В.В. Энтропийно-статистический анализ распределения за-трат энергии на компенсацию необратимости рабочих процессов систем кондиционирования//Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. – 2013. – №2. – С. 84–93.Рябышенков А.С. Системный анализ функционирования чистых помещений для микроэлектроники // Изв. вузов. Электроника. – 2016. – Т. 21. – № 3. – С. 218–223.Шишов В.В. Энтропийно-статистический анализ холодильных циклов для систем кондиционирования// Наука и инновации. – 2012. – № 5 (5). – С. 143–156.Цыганков А.В., Гримитлин А.М. Состояние и перспективы развития систем кон-диционирования воздуха // Вестник Международной академии холода. – 2013. – №4.– С. 47–50.Коченков Н.В., Коченков В.Н. Сравнительная оценка годовых энергозатрат в центральной и децентрализованной системах кондиционирования воздуха //Научный журнал НИУ ИТМО. Сер. Холодильная техника и кондиционирование. – 2014. – №3. – С. 37–49.Емельянов А.Л., Киселев И.Г., Приймин В.П. Методика оценки энергетической эффективности мобильных систем кондиционирования воздуха // Научный журнал НИУ ИТМО. Сер. Холодильная техника и кондиционирование. – 2016. – №3. – С. 5–12.ГОСТ ИСО 14644-1-2002. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Ч.1. Классификация чистоты воздуха. – М., 2002.