Расчет полос роста в многокомпонентных кристаллах при выращивании методом Бриджмена

Раздел находится в стадии актуализации

Моделируется процесс выращивания полупроводниковых кристаллов методом Бриджмена c учетом нестационарных воздействий, обусловленных технологическим оборудованием. Проводится сравнение величины микронеоднородности в кристалле с учетом и без учета особенностей многокомпонентности системы.
Гончаров Виктор Анатольевич
Московский государственный институт электронной техники (технический университет)
Васильев Александр Вячеславович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru