Исследование возможностей повышения чувствительности МЭМС-датчика давления емкостного типа с мембранами различных геометрических форм

Известия высших учебных заведений. Электроника: Электроника

Известия высших учебных заведений. Электроника home

Исследование возможностей повышения чувствительности МЭМС-датчика давления емкостного типа с мембранами различных геометрических форм

Раздел находится в стадии актуализации

Библиографическая ссылка: