Исследование p–i–n-диодных структур на высокоомных кремниевых подложках методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней

Исследование p–i–n-диодных структур на высокоомных кремниевых подложках методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней

Раздел находится в стадии актуализации

При проектировании выполненных на высокоомном кремнии p - i - n- диодных структур, чувствительных к посторонним примесям, требуется учитывать особенности технологических сред, в которых они обрабатываются, и их последующее влияние на основные характеристики изделия. Для исследования технологических примесей, которые диффундируют с поверхности в объем p - i - n- диодной структуры во время процесса ее изготовления, применяется метод релаксационной спектроскопии глубоких уровней, характеризующийся высокой чувствительностью, возможностью определения природы примеси и др. В работе проведено исследование p - i - n- диодных структур, выполненных на подложках высокоомного кремния, методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней. С использованием спектроскопии показано наличие в запрещенной зоне кремния глубоких донорных уровней, обусловленных присутствием серы в теле p - i - n- диода. Установлено, что наличие примесной серы приводит к нежелательному снижению удельного объемного сопротивления подложки и ухудшению характеристик p - i - n- диода. Результаты исследования могут быть использованы при изготовлении p - i - n- диодов и других полупроводниковых структур на высокоомном кремнии, чувствительных к посторонним примесям.
Григорьева Татьяна Валерьевна
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Голубков Сергей Александрович
АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (Россия, 124527, г. Москва, г. Зеленоград, Солнечная аллея, 6)
Бойко Антон Николаевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru