<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<article xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns:ali="http://www.niso.org/schemas/ali/1.0/" article-type="research-article" dtd-version="1.2" xml:lang="en">
  <front>
    <journal-meta>
      <journal-id journal-id-type="issn">1561-5405</journal-id>
	    <journal-id journal-id-type="doi">10.24151/1561-5405</journal-id>	  
      <journal-id journal-id-type="publisher-id">Proceedings of Universities. Electronics</journal-id>
      <journal-title-group>
        <journal-title xml:lang="en">Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics"</journal-title>
        <trans-title-group xml:lang="ru">
          <trans-title>Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника»</trans-title>
        </trans-title-group>        
      </journal-title-group>      
      <issn publication-format="print">1561-5405</issn>
      <issn publication-format="online">2587-9960</issn>
      <publisher>
        <publisher-name xml:lang="en">National Research University of Electronic Technology</publisher-name>
        <publisher-name xml:lang="ru">Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"</publisher-name>
      </publisher>
    </journal-meta>
    <article-meta>                                    
      
    <article-categories><subj-group><subject>Краткие сообщения</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title xml:lang="en">Archives</article-title><trans-title-group xml:lang="ru"><trans-title>Влияние материала зонда на локальное анодное 
окисление подложек</trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author"><string-name xml:lang="ru">Неволин Владимир Кириллович</string-name><name-alternatives><name xml:lang="ru"><surname>Неволин</surname><given-names>Владимир Кириллович</given-names></name><name xml:lang="en"><surname>Nevolin</surname><given-names>Vladimir K.</given-names></name></name-alternatives><string-name xml:lang="en">Vladimir K. Nevolin</string-name><xref ref-type="aff" rid="AFF-1"/></contrib><contrib contrib-type="author"><string-name xml:lang="ru">Неволин Владимир Кириллович</string-name><name-alternatives><name xml:lang="ru"><surname>Неволин</surname><given-names>Владимир Кириллович</given-names></name><name xml:lang="en"><surname>Nevolin</surname><given-names>Vladimir K.</given-names></name></name-alternatives><string-name xml:lang="en">Vladimir K. Nevolin</string-name><xref ref-type="aff" rid="AFF-2"/></contrib><aff id="AFF-1" xml:lang="ru"/><aff id="AFF-2" xml:lang="ru">National Research University of Electronic Technology, Moscow</aff></contrib-group><fpage>80</fpage><lpage>82</lpage><self-uri>http://ivuz-e.ru/en/issues/98-_2012/vliyanie_materiala_zonda_na_lokalnoe_anodnoe_okislenie_podlozhek/</self-uri><abstract xml:lang="en"><p>The dependence of the cathode potential jumps on the material probes has been shown. The possibility of emission of the interelectrode gap during the local anodic oxidation and the feasibility of the effective laser simulation of anodic oxidation in some cases have been predicted.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="ru"><p>Показана зависимость катодных скачков потенциалов от материала зондов. Предсказана возможность свечения межэлектродного зазора при локальном анодном окислении и целесообразность эффективного лазерного стимулирования анодного окисления в некоторых случаях.</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd/></kwd-group><funding-group/></article-meta>
  </front>
  <body/>
  <back>
    <ref-list/>    
  </back>
</article>
