The magnetoresistive transducers of magnetic field have been claimed both for direct and indirect applications in various areas of industry, transport and special equipment. In the paper the special features of used terminology and dimensions in the main parameters of magnetic field magnetoresistive transformers have been revealed. The main results of experimental studies on the developed thin-film magnetoresistive nanostructures (TMN) with even and odd transfer characteristics have been presented. The TMN design on an anisotropic magnetoresistive effect has an odd transfer characteristic and conversion coefficient at the level of 8 mV/V/E. The TMN design based on a giant magnetoresistive effect has an even transfer characteristic and a conversion coefficient at the level of 27 mV/V/E. The results of promising design and technological solutions allowing reaching the values of conversion coefficient of TMN at the level exceeding 100 mV/V/E have been shown. The results of the study of the test spin-tunnel magnetoresistive nanostructure (spin-tunnel TMN) with giant magnetoresistive effect, exceeding 100% have been presented. The novelty of the obtained results has been reflected and the perspective of using highly sensitive TMN and creating the non-volatile MRAM on the basis of thin-film magnetoresistive structure with the spin-tunnel magnetoresistive effect have been determined.
1. Global Magnetometer Market: Snapshot. URL: https://www.transparencymarketresearch.com/magnetometer-market.html (дата обращения: 04.12.2019).
2. Бараночников М.Л. Микроэлектроника. М.: ДМК Пресс, 2001. Т. 1. С. 27–137.
3. Ripka P. Advances in magnetic field sensors // IEEE Sensors Journal. 2010. Vol. 10. No. 6. P. 1108–1116.
4. Буслов И., Бауткин В., Драпезо А., Ярмолович В. Датчики слабых магнитных полей на эффекте Холла // Современнаяэлектроника. 2011. № 1. С. 12–17.
5. Создание интегральных компонентов усиления магнитного сигнала в беспроводной МЭМС на основе магниторезистивных элементов / В.В. Амеличев, В.В. Аравин, А.Н. Белов и др. // Нано-имикросистемнаятехника. 2013. №3. С. 29–33.
6. Амеличев В.В., Резнев А.А. Микросистемы на основе тонкопленочных анизотропных магниторезистивных преобразователей магнитного поля и тока // Нано- и микросистемная техника. 2018. Т. 20. № 5. С. 303–307.
7. Перспективные магнитные наноструктуры с гигантским магнитосопротивлением и высокочувствительные сенсорные элементы на их основе / Институт физики металлов имени М.Н. Михеева
Уро РАН. URL: http://imp.uran.ru/?q=ru/content/perspektivnye-magnitnye-nanostruktury-s-gigantskim-magnitosoprotivleniem-i-0 (дата обращения: 04.12.2019).
8. Развитие технологий магнитополупроводниковых микросистем / В.В. Амеличев, И.Е. Абанин, В.В. Аравин и др. // Изв. вузов. Электроника. 2015. Т. 20. № 5. С. 505–510.