1561-5405 10.24151/1561-5405 Proceedings of Universities. Electronics Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics" Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» 1561-5405 2587-9960 National Research University of Electronic Technology Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" 621.38:79Информационно-телекоммуникационные системыDevelopment of Magneto-Semiconductor Microsystems TechnologyРазвитие технологий магнитополупроводниковых микросистем505510http://ivuz-e.ru/en/issues/5-_2015/razvitie_tekhnologiy_magnitopoluprovodnikovykh_mikrosistem/http://ivuz-e.ru/en/download/5_2015_1866_en.pdf

The results of the development of technologies for magnetic semiconductor chips based on thin-film magnetoresistive multilayer nanostructures are presented. A brief overview of the main achievements in the field of magnetometric devices based on anisotropic and giant magnetoresistive effect is made.

Представлены результаты развития технологий магнитополупроводниковых микросистем на основе многослойных тонкопленочных магниторезистивных наноструктур. Дан краткий обзор основных достижений в области создания магнитометрических приборов на основе анизотропного и гигантского магниторезистивных эффектов.

 Касаткин С.И., Муравьев А.М. Тонкопленочные магниторезистивные датчики // Электронные компоненты. – 2003. – № 3. – C.1–4.Касаткин С.И., Васильева Н.П., Муравьёв А.М. Спинтронные магниторезистивные элементы и приборы на их основе. – М.: Электронинформ, 2005. – 168с.Микроэлектронная магниторезистивная технология / В.В. Амеличев, А.И. Галушков, В.В. Дягилев и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2007. – № 3. – С. 22–26.Гуляев Ю.В., Зильберман П.Е., Панас А.И., Эпштейн Э.М. Спинтроника: обменное переключение ферромагнитных металлических переходов при малой плотности токов // УФН. – 2009. – Т. 179. – № 4. – С. 359–368.Беспроводная магниторезистивная микросистема измерения магнитного поля / В.В. Аравин, В.В. Амеличев, А.А. Демин и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2012. – №6(98). – С. 57–63.Сайт фирмы NVE URL: www.nve.com (дата обращения: 27.04.2015).Перспективы применения тонкопленочных магниторезистивных наноструктур в многокристальных беспроводных МЭМС / В.В. Аравин, В.В. Амеличев, В.Д. Вернер и др. // Материалы IX науч.-техн. конф. «Твердотельная электроника. Сложные функциональные блоки РЭА». – Звенигород, 2010. – С. 152–153.http://powerelectronics.com/passive-components/microtransformer-isolation-benefits-digital-control (дата обращения: 27.04.2015).