1561-5405 10.24151/1561-5405 Proceedings of Universities. Electronics Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics" Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» 1561-5405 2587-9960 National Research University of Electronic Technology Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" 11642765621.586'37:[519.711:53.072]Методы и техника измеренийInvestigation of Surface Modification Influence on Frequency Properties of Micro ResonatorИсследование влияния модификации поверхности микрорезонаторов на их частотные свойства5561http://ivuz-e.ru/en/issues/4-_2008/issledovanie_vliyaniya_modifikatsii_poverkhnosti_mikrorezonatorov_na_ikh_chastotnye_svoystva/http://ivuz-e.ru/en/download/4_2008_2799_en.pdf

The influence of hetero-layer on the elastic constants and surface tension in nanoelectric-mechanical systems has been considered. The quantitative comparison of these effects on an example of a silicon resonator has been performed. It has been shown that the presented results are within the range of possible experimental observation.

Рассмотрено влияние гетерослоя на упругие постоянные и поверхностное натяжение в наноэлектромеханических системах. Проведено количественное сравнение этих эффектов на примере резонатора из кремния. Показано, что представленные результаты лежат в диапазоне возможного экспериментального наблюдения.

 Parsons G.N., Porod W., Tour J.М., Jame D.K. Handbook of Nanoscience engineering and Technology / Ed. by W.A. Goddard. - CRC, 2003.Lavrik N. V., Sepaniak M.J., Datskos P.G. Cantilever transducers as а Platform for Chemical and Biological Sensing // Rev. Sci. Instrum. - 2004. - Vol. 75. - Р. 2229-2253.Weighing of biomolecules, single cells and single nanoparticles in fluid / Т.Р. Burg, М. Godin, S.М. Knudsen et аl. // Nature. - April 26. -2007. - Vol. 446, lss. 7139. - Р. 1066-1069.Терин Д.В., Сударев А.В. Влияние параметров системы и адсорбированных молекул на колебания в наноэлектромеханической системе // Материалы XXXVII междунар. науч. студенческой конф. «Студент и научно-технический прогресс». - Новосибирск: Новосибирский гос. ун-т., 1999. - С. 56.Lu Р., Lee Н.Р., Lu С., O'Shea S.J. Surface stress effects оn the resonance properties of cantilever sensors // Phys. Rev. В 72. - 2005. - Р. 085405-1085405-5.Татауо J., Ramos D., Mertens J., Calleja M. Effect of the adsorbate stiffness on the resonance response of microcantilever sensors // Аррl. Phys. Lett. - 2006. - Vol. 89. - Р. 224104-1. - 224104-3.Segall Sohrab Ismail-Beigi Т.D.E., Arias А. Elasticity of nanometer-sized objects // Phys. Rev. В 65. - 2002. - Р. 214109-1214109-10.Origin of the response of пanomechanical resonators to bacteria adsorption / D. Ramos, J. Татауо, J. Mertens et аl. // J. Аррl. Phys. - 2006. - Vol. 100. - Р. 106105-1106105-3.Sandberg R., Svendsen W., Molhave К., Boisen А. Temperature and pressure dependence of resonance in multi-layer microcantilevers // J. Micromech. Microeng. - 2005. - Vol. 15. - Р. 1454-1458.Thermal effects оп coated resonant microcantilevers / F. Slten, Р. Lu, К.Н. Lee et. аl. // Sens. Actuators. - 2001. - Vol. А 95. - Р. 17-23.Cleland A.N., Roukes M.L. Noise processes in nanomechaпical resonators // J. Аррl. Phys. - 2002. - 92. - P. 2758-2769.