1. Йе Ко Ко Аунг, Симонов Б. М., Тимошенков С. П. Исследование функционирова-ния чувствительного элемента микромеханического акселерометра сэндвич-конструкции емкостного типа в условиях паразитных воздействий по нерабочим осям и случайной вибрации // Изв. вузов. Электроника. 2022. Т. 27. № 1. С. 68–79. doi: https://doi.org/10.24151/1561-5405-2022-27-1-68-79
2. Walraven J. A. Failure mechanisms in MEMS // Proceedings of IEEE International Test Conference (ITC 2003). Charlotte, NC: IEEE, 2003. P. 828–833. doi: https://doi.org/10.1109/TEST.2003.1270915
3. Muhlstein C. L., Howe R. T., Ritchie R. O. Fatigue of polycrystalline silicon for micro-electromechanical system applications: crack growth and stability under resonant loading condi-tions // Mechanics of Materials. 2004. Vol. 36. Iss. 1-2. P. 13–33. doi: https://doi.org/10.1016/S0167-6636(03)00028-0
4. MEMS reliability assurance guidelines for space applications / ed. B. Stark. Pasadena, CA: Jet Propulsion Laboratory, California Institute of Technology, 1999. 285 p.
5. Connally J. A., Brown S. B. Slow crack growth in single-crystal silicon // Science. 1992. Vol. 256. No. 5063. P. 1537–1539. doi: https://doi.org/10.1126/science.256.5063.1537
6. Tabib-Azar M., Wong K., Ko W. Aging phenomena in heavily doped (p+) micromachined silicon cantilever beams // Sensors and Actuators A: Physical. 1992. Vol. 33. Iss. 3. P. 199–206. doi: https://doi.org/10.1016/ 0924-4247(92)80167-2
7. Petersen K. E. Silicon as a mechanical material // Proceedings of the IEEE. 1982. Vol. 70. No. 5. P. 420–457. doi: https://doi.org/10.1109/PROC.1982.12331
8. Bagdahn J., Sharpe Jr. W. N. Fatigue of polycrystalline silicon under long-term cyclic loading // Sensors and Actuators A: Physical. 2003. Vol. 103. Iss. 1-2. P. 9–15. doi: https://doi.org/10.1016/S0924-4247(02)00328-X