1561-5405 10.24151/1561-5405 Proceedings of Universities. Electronics Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics" Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» 1561-5405 2587-9960 National Research University of Electronic Technology Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" 628.83Краткие сообщенияFunctional-Ecological Evaluation of Clean RoomФункционально-экологическая оценка чистых помещений9598http://ivuz-e.ru/en/issues/1-_2017/funktsionalno_ekologicheskaya_otsenka_chistykh_pomeshcheniy/http://ivuz-e.ru/en/download/1_2017_1404_en.pdf

The applicability of one of the system analysis method for clean rooms of the microelectronics technology to improve their energy and ecological indicators has been investigated. The possibility of using in practice the ecological assessment method of the air-conditioning system for clean rooms in microelectronics using the functional-ecological analysis has been considered, and its algorithm and implementation example have been given. The functional-ecological analysis is a time-consuming method, however, the efficiency and completeness make it a considerably advantageous in investigation of clean rooms.

Исследована применимость метода системного анализа к чистым помещениям технологии микроэлектроники для улучшения их энергоэкологических показателей. Рассмотрена возможность использования на практике метода оценки экологичности системы кондиционирования воздуха для чистых помещений микроэлектроники с помощью функционально-экологического анализа, приведен его алгоритм и пример реализации для действующей технологии. Функционально-экологический анализ -трудоемкий метод, однако его эффективность и полнота дают значительное преимущество при оценке чистых помещений.

 ГОСТ Р 51750 – 2001. Энергосбережение. Методика определения энергоемкости при производстве продукции и оказании услуг в технологических энергетических системах. Общие положения. – М.: Госстандарт России, 2004. – 22 с.Гаврилин П.А. Функционально-экологическое проектирование технических систем. – М.: Спутник, 2008. – 47 с.Козлов В.Н. Системный анализ. Оптимизация и принятие решений. – СПб.: Проспект, 2014. – 173 с.Дисветова Н.М., Каракеян В.И. Функционально-экологический анализ системы кондиционирования воздуха чистых помещений // Методы анализа и контроля объектов природно-технических геосистем / Под ред. В. И. Каракеяна. – М., 2014. – С. 53–59.